Аннотация
Исследован ионный источник с магнитным полем и ионизацией электронным ударом, работавший на Не. Сняты зависимости выходного тока и энергетического разброса ионов от давления, уровня электронного тсжа, энергии электронов и величины магнитного поля. Получена плотность ионного тока ∼12 ма/см2 при вытягивающем напряжении 2,4 кв. Средний энергетический разброс ионов составляет 15 эв.
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Е.М. Дубинина, К.И. Пузанков
Кафедра электроники
Кафедра электроники