English citation: Structure of catho de sputtered thin films
A.I. Krokhina, V.S. Azarov, and L. Ettemadi
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.И. Крохина, В.С. Азаров, Л. Эттемади
Кафедра электроники
Кафедра электроники