Аннотация
В работе исследуется пространственное распределение вещества, распыленного из монокристаллов соединений АШВV, а также его зависимость от времени распыления, энергии и массы бомбардирующих ионов, угла падения ионов на мишень. Ионная бомбардировка осуществляется ионами Ne+, Кг+ и Хе+ с энергией от 0,5 до 20 кэв.
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Л.Н. Невзорова, В.Е. Юрасова.
Кафедра электроники
Кафедра электроники