Статья

О формировании в растровом электронном микроскопе изображений глубоких отверстий

Д.Д. Городский, С.С. 3адорожный, А.Е. Лукьянов, Э.И. Pay, Г.В. Спивак.

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1975. № 4. С. 423

Статья

Аннотация

Использовано продольное магнитное поле для получения в электронном микроскопе изображения глубоких и узких отверстий. Приведен теоретический и экспериментальный материал, свидетельствующий о перспективности этого метода.

Авторы

Д.Д. Городский, С.С. 3адорожный, А.Е. Лукьянов, Э.И. Pay, Г.В. Спивак.
Кафедра электроники

Выпуск 4, 1975

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.