В работе приводятся некоторые результаты исследования структурных особенностей тонких W-пленок, нанесенных распылением в разряде с осциллирующими электронами. Напыление приводилось на два типа подложек: стекло и NaCl. Предложенная распылительная система позволяет производить, напыление и исследование сразу нескольких пленок. С помощью оже-спектроскопии проведен анализ химического состава как распыляемых объектов, так и полученных пленок. С помощью просвечивающего электронного микроскопа выяснена структура пленок и рассчитаны параметры решеток.
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.