Влияние адсорбции воды на кинетику перезарядки медленных состояний кремния

Исследована кинетика медленной релаксации заряда на поверхности кремния в атмосфере паров воды в широком диапазоне времени ($10^{- 2}\le t \le 10^5$ с). Показано, что экспериментальные данные полностью согласуются с представлениями электронно-колебательной модели перезарядки медленных состояний. Форма кинетических кривых соответствует гауссовскому распределению по энергиям колебательных мод О-Н адсорбционных комплексов, включающих прочносорбированные молекулы воды.