Исследование параметров плазмы ВЧ-разряда среднего давления спектроскопическим методом

По измеренным абсолютным и относительным интенсивностям спектральных линий исследовались характеристики сильно неравновесной плазмы ВЧ-разряда среднего давления в гелии, в которой функция распределения электродов по энергиям содержит группы "медленных" и "быстрых" электронов. Установлено, что эффективная температура "медленных" электронов $T_e{}^M$ составляла 0,15-0,25 эВ, а вклад ионизации ими в полную электронную концентрацию - порядка $10^{12}-10^{13} см^{-3}$. Определены заселенности высоковозбужденных энергетических уровней атомов Не для главного квантового числа $n=4-14$. Полученные низкие значения $T_e{}^M$ объясняются присутствием в данном разряде электронных пучков.