Структура и состав пленок Gd—Fe, полученных в разряде с осциллирующими электронами

Исследована структура и химический состав пленок Gd-Fe, полученных в разряде с осциллирующими электронами в Kr. Пленки имели толщину от 0,6 до 5,5 мкм. Показано, что пленки, нанесенные в плазменном режиме разряда ($\rho_{Kr}=5\cdot 10^{-4}$ мм рт. ст.), являются аморфными, пленки же, полученные при режиме разряда низкого давления ($\rho_{Kr}=2\cdot 10^{-4}$ мм рт. ст.), - аморфно-кристаллическими, с кристаллическими включениями окислов. Исследовано изменение структуры и химического состава пленок при длительном хранении их в атмосфере.