Статья

Зависимость пространственного разрешения в режиме локальной катодолюминесценции в растровом электронном микроскопе от значений электрофизических параметров образца

А.Р. Гареева, В.И. Петров, Г.А. Чижов

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1989. № 1. С. 23

Статья

Аннотация

Выполнен расчет в приближении точечного источника генерации электронно-дырочных пар в полупроводнике. Показано, что пространственное разрешение зависит не только от диффузионной длины неосновных носителей, но и от скорости поверхностной рекомбинации и степени поглощения излучения в веществе.

English citation: Spatial resolution under the conditions of local catholuminescence inthe scanning electron microscope as а function of the electro-physical parameters of the sample

А.R. Gareeva, V.I. Petrov, and G.А. Chizhov

Авторы

А.Р. Гареева, В.И. Петров, Г.А. Чижов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 1, 1989

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.