Деградация структур металл - двуокись кремния – кремний при электронном облучении и инжекции горячих электронов из кремния в окисел

Показано, что инжекция электронов из кремния в окисел и электронное облучение приводят к одинаковым изменениям энергетических спектров поверхностных состояний и возрастанию зарядовой нестабильности структур $Si—SiO_2$ - металл независимо от типа проводимости кремниевой подложки. Возникающая зарядовая нестабильность связана с генерацией подвижных ионов и медленных электронных состояний в окисле. Характер энергетического спектра поверхностных состояний зависит от условий проведения инжекции электронов.