Аннотация
Методом молекулярной динамики исследованы закономерности обнаруженного ранее эффекта, состоящего в том, что эмитируемый с поверхности атом затрачивает энергию не только на преодоление сил притяжения к поверхности, но и в значительной степени — на отдачу окружающих атомов. Показано, что аналитические модели распыления дают неверную картину формирования суммарных затрат энергии, необходимых для распыления атома с поверхности, что приводит к некорректности формул для функции распределения распыленных атомов по внешним энергии и полярному углу.
English citation: Evaluation of energy expenditure in sputtering of atoms from crystal surface. I. Computer modeling by the molecular dynamics method
V.N. Samoilov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
В.Н. Самойлов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики для физического факультета. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики для физического факультета. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2