Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Влияние перезарядки поверхностных электронных состояний на токи лавинной инжекции в системе $Si—SiO_2$—металл

С.Н. Козлов, В.В. Супрунов

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1991. № 4. С. 91

  • Статья
Аннотация

Исследовано влияние заряжения поверхностных электронных состояний в системе $Si—SiO_2$—металл на процесс переноса горячих электронов из кремния в окисный слой при лавинном пробое в кремнии. Показано, что основной механизм такого влияния - "интегральное" изменение электрического поля в области пространственного заряда полупроводника при заряжении поверхностных состояний. Предложен новый метод определения плотности поверхностных электронных состояний, основанный на измерении зависимостей токов лавинной инжекции электронов из полупроводника в диэлектрик от амплитуды импульсов истощающего напряжения.

Авторы
С.Н. Козлов, В.В. Супрунов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики и молекулярной электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Выпуск 4, 1991

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.