Влияние состояния поляризации сегнетоэлектрических пленок на электрофизические свойства структур кремний—сегнетоэлектрик

Исследовано влияние состояния поляризации сегнетоэлектрика на вольт-фарадные и вольт-амперные характеристики структур металл — пленка сегнетоэлектрика —кремний. Показано, что термополевые обработки приводят не только к переполяризации сегнетоэлектрика, но и к перезарядке электронных ловушек. Методом масс-спектроскопии зарегистрирована десорбция различных атомов и молекул с поверхности структуры при прохождении температуры фазового перехода.