Статья

Исследование эффективности сцинтилляционных детекторов обратно рассеянных электронов в РЭМ

Р.Н. Бирченко, Э.И. Рау, М.Н. Филиппов

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2000. № 2. С. 28

Статья

Аннотация

Проведенные эксперименты продемонстрировали, что сцинтилляционные детекторы, используемые в РЭМ для регистрации потоков обратно отраженных электронов, заметно различаются по эффективности регистрации различными областями активной части.

English citation: Studying the efficiency of scintillation detectors for back-scattered electrons in SEM

R.N. Birchenko, E.I. Rau, M.N. Filippov

Авторы

Р.Н. Бирченко, Э.И. Рау, М.Н. Филиппов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 2, 2000

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.