Структурные особенности пленок Ta, полученных в разряде с осциллирующими электронами со смещением

Изучена структура тонких пленок Та в разряде с осциллирующими электронами при отрицательном напряжении смещения (в диапазоне $V_{d}=0\div 90$ В) в атмосфере Kr ($p_{\rm Kr}\approx10^{-5}$ Торр). Обсуждается механизм взаимодействия медленных ионов Kr$^+$ с атомами металла. Получены зависимости скорости напыления, концентрации газа в пленках, параметров элементарной ячейки, размеров областей когерентного рассеяния и микронапряжений в пленках от $V_d$. Обнаружено существование двух фаз: $\alpha$-Ta и $\beta$-Ta, процентное содержание которых зависит от напряжения смещения.