Краткое сообщение

Исследование шероховатости поверхности методами атомно-силовой микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифференциального рассеяния света

М.Л. Занавескин, И.С. Занавескина, Б.С. Рощин, В.Е. Асадчиков, В.В. Азарова, Ю.В. Грищенко, А.Л. Толстихина

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2006. № 3. С. 80

Статья

Аннотация

Проведено исследование шероховатости поверхности полированных ситаловых и кварцевых подложек с помощью методов атомно-силовой микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифференциального рассеяния света. Для различных подложек показано хорошее совпадение функций спектральной плотности мощности рельефа поверхности и значений эффективной высоты шероховатости, рассчитанных по данным трех методов.

Авторы

М.Л. Занавескин, И.С. Занавескина, Б.С. Рощин, В.Е. Асадчиков, В.В. Азарова, Ю.В. Грищенко, А.Л. Толстихина
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики наносистем. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.

Выпуск 3, 2006

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.