Аннотация
Проведено исследование шероховатости поверхности полированных ситаловых и кварцевых подложек с помощью методов атомно-силовой микроскопии, рентгеновского рассеяния и дифференциального рассеяния света. Для различных подложек показано хорошее совпадение функций спектральной плотности мощности рельефа поверхности и значений эффективной высоты шероховатости, рассчитанных по данным трех методов.
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
М.Л. Занавескин, И.С. Занавескина, Б.С. Рощин, В.Е. Асадчиков, В.В. Азарова, Ю.В. Грищенко, А.Л. Толстихина
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики наносистем. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физики наносистем. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.