Аннотация
Экспериментально получены энергетические спектры отраженных электронов в интервале 5-25 кэВ. Решена обратная задача восстановления истинного спектра электронов с учетом аппаратной функции спектрометра и на основе полученного решения уточнены функции реального энергетического распределения обратноотраженных электронов от однородных и от слоистых образцов.
Поступила: 8 мая 2009
Статья подписана в печать: 9 октября 2009
PACS:
02.30.Zz Inverse problems
English citation: Energy spectra of electrons backscattered from bulk solid targets
A.V. Bolotina, F.A. Luk’yanov, E.I. Rau, R.A. Sennov, A.G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.В. Болотина$^1$, Ф.А. Лукьянов$^2$, Э.И. Рау$^2$, Р.А. Сеннов$^2$, А.Г. Ягола$^1$
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^1$кафедра математики
$^2$кафедра физической электроники
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
$^1$кафедра математики
$^2$кафедра физической электроники