Статья

Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧ-разряде низкого давления

Е.А. Кралькина, П.А. Неклюдова, В.Б. Павлов, К.В. Вавилин, В.П. Тараканов

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2014. № 1. С. 79

Статья

Аннотация

Работа посвящена систематическим исследованиям радиальной зависимости параметров плазмы индуктивного ВЧ-разряда низкого давления в широком диапазоне давлений от 0.8 мторр до 1 торр. Экспериментальные результаты, полученные при рассмотренных давлениях, позволяют проанализировать закономерности изменения параметров плазмы, как при нелокальном режиме горения разряда, так и при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ-мощности. Рассмотрен разряд в гелии, неоне, аргоне и криптоне. Экспериментальные данные сопоставлены с результатами численного моделирования индуктивного ВЧ-разряда PIC-методом.

Поступила: 16 мая 2013

Статья подписана в печать: 3 апреля 2014

PACS:

52.80.Pi High-frequency and RF discharges
52.65.Rr Particle-in-cell method

English citation: Radial inhomogenity of plasma parameters in a low-pressure inductive RF discharge

E.A. Kralkina, P.A. Nekliudova, V.B. Pavlov, K.V. Vavilin, V.P. Tarakanov

Авторы

Е.А. Кралькина, П.А. Неклюдова, В.Б. Павлов, К.В. Вавилин, В.П. Тараканов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 1, 2014

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.