Аннотация
В работе исследовано образование дефектов в пленках кремния на сапфире под действием облучения пучком газовых кластерных ионов аргона с энергией 30 кэВ. С помощью методики обратного резерфордовского рассеяния в режиме каналирования обнаружено образование существенного количества дефектов в объеме образца при облучении не сепарированным по массе пучком кластерных ионов. При удалении из пучка атомарных и легких кластерных ионов осуществляется бездефектное травление образцов.
Поступила: 3 декабря 2015
Статья подписана в печать: 11 марта 2016
PACS:
36.40.-c Atomic and molecular clusters
68.49.Sf Ion scattering from surfaces
68.49.Sf Ion scattering from surfaces
English citation: The influence of the gas cluster ion beam composition on defect formation in targets
A.E. Ieshkin, A.A. Shemukhin, Yu.A. Ermakov, V.S. Chernysh
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.Е. Иешкин$^1$, А.А. Шемухин$^2$, Ю.А. Ермаков$^2$, В.С. Черныш$^{1,2}$
$^1$Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники.
$^2$Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д. В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ). Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.
$^1$Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники.
$^2$Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д. В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ). Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.