Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Повышение точности широкополосного контроля процесса напыления оптических покрытий

Т. Ф. Исаев, И. В. Кочиков, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2018. № 4. С. 45

  • Статья
Аннотация

В работе предлагается подход к повышению точности широкополосного контроля процесса напыления оптических покрытий за счёт определения фактического набора толщин слоёв покрытия в процессе напыления. На серии модельных численных экспериментов с использованием симулятора процесса напыления показана эффективность предложенного подхода.

Поступила: 4 сентября 2017
Статья подписана в печать: 24 января 2019
PACS:
42.25.Hz Interference
English citation: Improving the Accuracy of Broad-Band Monitoring of Optical Coating Deposition
T. F. Isaev, I. V. Kochikov, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola
Авторы
Т. Ф. Исаев, И. В. Кочиков, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола
$^1$Московский государственный университет имени М.В Ломоносова, физический факультет
Выпуск 4, 2018

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.