Аннотация
В работе вводится оценка степени корреляции ошибок в толщинах слоев при широкополосном оптическом контроле процесса напыления оптических покрытий. Показано, что сильный эффект самокомпенсации ошибок напыления проявляется в случае сильной корреляции ошибок в толщинах слоев. Вводится оценка силы данного эффекта. Полученные теоретические выводы подтверждаются сравнением с практическими результатами напыления, демонстрирующими наличие сильного эффекта самокомпенсации ошибок.
Поступила: 17 июля 2018
Статья подписана в печать: 26 марта 2019
PACS:
42.79.Ci Filters, zone plates, and polarizers
42.25.Fx Diffraction and scattering
42.90.+m Other topics in optics
42.25.Fx Diffraction and scattering
42.90.+m Other topics in optics
English citation: Estimates related to the mechanism of the error self-compensation in the process of optical coatings deposition
A. V. Tikhonravov, I. V. Kochikov, I. A. Matvienko, S. A. Sharapova, A. G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А. В. Тихонравов$^1$, И. В. Кочиков$^1$, И. А. Матвиенко$^2$, С. А. Шарапова$^1$, А. Г. Ягола$^2$
$^1$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр.\
$^2$Кафедра математики Физического факультета МГУ
$^1$Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр.\
$^2$Кафедра математики Физического факультета МГУ
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.