Аннотация
Проведено облучение пористого кремния ионами Ar+ с энергиями 100 и 200 кэВ и флюенсами от 10$^{12}$ см$^{-2}$ до 3·10$^{13}$ см$^{-2}$. Исследовано влияние ионного облучения при разных флюенсах и энергиях налетающих частиц на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Увеличение флюенса облучения приводит к снижению интенсивности фотолюминесценции, не влияя при этом на размер сдвига максимума. Показано, что ионное облучение приводит к сдвигу максимума фотолюминесценции, который увеличивается с ростом энергии. Обсуждаются основные механизмы фотолюминесценции в пористом кремнии.
Поступила: 18 марта 2020
Статья подписана в печать: 3 января 2021
PACS:
79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
English citation: Effect of argon ion irradiation parameters on the photoluminescence spectrum of porous silicon
A. V. Kozemiako, A. P. Evseev, Yu. M. Spivak, E. N. Muratova, Yu. V. Balakshin, A. V. Nazarov, A. A. Shemukhin, V. S. Chernysh
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А. В. Кожемяко$^1$, А. П. Евсеев$^{1,2}$, Ю. М. Спивак$^3$, Е. Н. Муратова$^3$, Ю. В. Балакшин$^{2,4}$, А. В. Назаров$^2$, А. А. Шемухин$^{2,4}$, В. С. Черныш$^{1,2}$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ)\
$^3$Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова (Ленина)\
$^4$Центр Квантовых Технологий, Физический факультет, Московский Государственный Университет им. М.В. Ломоносова
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ)\
$^3$Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова (Ленина)\
$^4$Центр Квантовых Технологий, Физический факультет, Московский Государственный Университет им. М.В. Ломоносова