Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Влияние параметров облучения ионами аргона на спектр фотолюминесценции пористого кремния

А. В. Кожемяко$^1$, А. П. Евсеев$^{1,2}$, Ю. М. Спивак$^3$, Е. Н. Муратова$^3$, Ю. В. Балакшин$^{2,4}$, А. В. Назаров$^2$, А. А. Шемухин$^{2,4}$, В. С. Черныш$^{1,2}$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2020. № 5. С. 75

  • Статья
Аннотация

Проведено облучение пористого кремния ионами Ar+ с энергиями 100 и 200 кэВ и флюенсами от 10$^{12}$ см$^{-2}$ до 3·10$^{13}$ см$^{-2}$. Исследовано влияние ионного облучения при разных флюенсах и энергиях налетающих частиц на спектр фотолюминесценции пористого кремния. Увеличение флюенса облучения приводит к снижению интенсивности фотолюминесценции, не влияя при этом на размер сдвига максимума. Показано, что ионное облучение приводит к сдвигу максимума фотолюминесценции, который увеличивается с ростом энергии. Обсуждаются основные механизмы фотолюминесценции в пористом кремнии.

Поступила: 18 марта 2020
Статья подписана в печать: 3 января 2021
PACS:
79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
English citation: Effect of argon ion irradiation parameters on the photoluminescence spectrum of porous silicon
A. V. Kozemiako, A. P. Evseev, Yu. M. Spivak, E. N. Muratova, Yu. V. Balakshin, A. V. Nazarov, A. A. Shemukhin, V. S. Chernysh
Авторы
А. В. Кожемяко$^1$, А. П. Евсеев$^{1,2}$, Ю. М. Спивак$^3$, Е. Н. Муратова$^3$, Ю. В. Балакшин$^{2,4}$, А. В. Назаров$^2$, А. А. Шемухин$^{2,4}$, В. С. Черныш$^{1,2}$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ)\
$^3$Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В.И. Ульянова (Ленина)\
$^4$Центр Квантовых Технологий, Физический факультет, Московский Государственный Университет им. М.В. Ломоносова
Выпуск 5, 2020

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.