Аннотация
В работе проведено теоретическое исследование корреляции ошибок в толщинах слоев многослойных оптических покрытий при монохроматическом контроле процессов их напыления. Для различных алгоритмов определения времен остановки напыления слоев покрытия получены оценки степени коррелированости ошибок в толщинах слоев. Показано, что параметр, введенный для оценки степени коррелированости, дает адекватное представление о корреляции ошибок при монохроматическом контроле.
Поступила: 13 октября 2020
Статья подписана в печать: 23 марта 2021
PACS:
02.70.-c Computational techniques; simulations
English citation: Correlation of errors in monochromatic control of optical coating deposition processes
A. V. Tikhonravov, I. V. Kochikov, A. A. Lagutina, Yu. S. Lagutin, D. V. Lukyanenko, S. A. Sharapova, A. G. Yagola
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А. В. Тихонравов$^{1,2}$, И. В. Кочиков$^1$, А. А. Лагутина$^{2,3}$, Ю. С. Лагутин$^{2,3}$, Д. В. Лукьяненко$^{2,3}$, С. А. Шарапова$^{1,2}$, А. Г. Ягола$^3$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр\
$^2$Московский центр фундаментальной и прикладной математики\
$^3$МГУ имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, Научно-исследовательский вычислительный центр\
$^2$Московский центр фундаментальной и прикладной математики\
$^3$МГУ имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.