Аннотация
С помощью численного моделирования методом молекулярной динамики исследованы температурные зависимости коэффициента распыления меди кластерными ионами аргона в диапазоне температур от 300 К до 1100 К (0.8 температуры плавления). Кластеры аргона с фиксированной энергией 10 кэВ имели размеры от 50 до 500 атомов. Обнаружено, что с ростом размера кластера, то есть с уменьшением удельной энергии его атомов, зависимость коэффициента распыления от температуры становится более выраженной. Проведено сравнение результатов с моделью тепловых пиков.
Поступила: 19 апреля 2022
Статья подписана в печать: 3 октября 2022
PACS:
79.20.-m Impact phenomena
36.40.-c Atomic and molecular clusters
36.40.-c Atomic and molecular clusters
English citation: Temperature-dependent sputtering with gas cluster ions. Computer simulation
A. E. Ieshkin, A. D. Zavilgelsky, M. E. Beliaev, A. V. Nazarov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А. Е. Иешкин$^1$, А. Д. Завильгельский$^{1,2}$, М. Е. Беляев$^1$, А. В. Назаров$^2$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники, кафедра физической электроники.\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына.
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники, кафедра физической электроники.\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына.