Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Температурные зависимости коэффициента распыления при облучении газовыми кластерными ионами. Численное моделирование

А. Е. Иешкин$^1$, А. Д. Завильгельский$^{1,2}$, М. Е. Беляев$^1$, А. В. Назаров$^2$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2022. № 4. С. 30

  • Статья
Аннотация

С помощью численного моделирования методом молекулярной динамики исследованы температурные зависимости коэффициента распыления меди кластерными ионами аргона в диапазоне температур от 300 К до 1100 К (0.8 температуры плавления). Кластеры аргона с фиксированной энергией 10 кэВ имели размеры от 50 до 500 атомов. Обнаружено, что с ростом размера кластера, то есть с уменьшением удельной энергии его атомов, зависимость коэффициента распыления от температуры становится более выраженной. Проведено сравнение результатов с моделью тепловых пиков.

Поступила: 19 апреля 2022
Статья подписана в печать: 3 октября 2022
PACS:
79.20.-m Impact phenomena
36.40.-c Atomic and molecular clusters
English citation: Temperature-dependent sputtering with gas cluster ions. Computer simulation
A. E. Ieshkin, A. D. Zavilgelsky, M. E. Beliaev, A. V. Nazarov
Авторы
А. Е. Иешкин$^1$, А. Д. Завильгельский$^{1,2}$, М. Е. Беляев$^1$, А. В. Назаров$^2$
$^1$Московский государственный университет имени М.В.Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники, кафедра физической электроники.\
$^2$Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына.
Выпуск 4, 2022

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.