В процессе работы электрохимических устройств с протонообменной мембраной под действием кислорода происходит постепенное разрушение и деградация электрода со стороны анода. Повысить производительность и срок эксплуатации электродов электрохимических устройств возможно путем нанесения защитных покрытий на основе Ti на поверхность коллекторов тока. В работе получены наноструктурные пленки составов Ti, TiO$_x$, ТiN$_y$, TiO$_x$N$_y$ методом магнетронного распыления мишени титана в различных условиях. Структура и состав образцов исследовались методами сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа. Установлено влияние различных режимов и условий магнетронного распыления на состав и структуру титановых покрытий. Ресурс работы электрода с покрытием состава ТiNy в режиме электролизера в 2 раза превышает ресурс анода без покрытия в аналогичных условиях при сравнимой эффективности работы.
$^1$Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»\
$^2$Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева\
$^3$Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына МГУ имени М.В. Ломоносова