В работе предлагается метод решения трёхмерной задачи томографии с использованием данных сканирующего электронного микроскопа в режиме детектирования рассеянных электронов. Исходя из предположения, что образец обладает трёхслойной структурой, построены аналитические выражения для зависимости интенсивности детектируемого сигнала от химического состава образца, толщин слоёв и энергии первичных электронов. На основе полученных аналитических выражений на примере трехслойной (алюминий-золото-кремний) структуры решается обратная задача по восстановлению толщин слоёв алюминия и золота в двух различных постановках, отличающихся между собой типом используемой априорной информации о структуре образца.
07.78.+s Electron, positron, and ion microscopes; electron diffractometers
$^1$undefined\
$^2$undefined\
$^3$Сколковский институт науки и технологий\
$^4$undefined\
$^5$undefined
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.