Элементы ввода-вывода оптического излучения для субволновых волноводов на основе поверхностей второго порядка, изготовленные методом двухфотонной лазерной литографии

Элементы ввода-вывода излучения являются важным связующим звеном между устройствами пространственной, волоконной оптики и фотонными интегральными схемами (ФИС). В настоящей работе методом двухфотонной лазерной литографии изготовлены спектрально широкополосные адаптеры заведения и выведения излучения для волновода, приподнятого над подложкой, и проведено сравнение с результатами численного моделирования. Экспериментально показано, что оптимальным для заведения излучения в волновод является использование адаптера полного внутреннего отражения с эллипсоидной поверхностью. Коэффициент пропускания системы из двух адаптеров в спектральном диапазоне 700-1000~нм для s-поляризованного излучения составил не менее 27%.