Статья

Атомистическое моделирование структуры тонких пленок диоксида кремния с использованием силового поля ReaxFF

Ф. В. Григорьев$^1$, С. С. Торбин$^1$, В. Г. Жупанов$^2$, П. А. Новиков$^2$, В. Б. Сулимов$^1$, А. В. Тихонравов$^1$

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2025. № 6. 2560501

Статья

Аннотация

Проведено молекулярно-динамическое моделирование высокоэнергетического напыления тонких пленок диоксида кремния, направленное на исследование их важных для современных приложений структурных особенностей. Рассчитаны структурные параметры пленок и показано, что важнейшие расчетные параметры, такие как длины связи, валентные углы и положения пиков радиальной функции распределения хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены относительные концентрации точечных дефектов, влияющих на оптические свойства пленок, включая их лучевую прочность. Использовалась двухступенчатая схема расчетов: моделирование напыления проводилось в рамках двухчастичного силового поля DESIL, позволяющего исследовать пленки технологически значимых размеров, а их структурные параметры рассчитывались в рамках более точного силового поля ReaxFF. Такая схема позволила значительно увеличить численную эффективность моделирования и получить новые более точные данные о концентрации точечных дефектов.

Поступила: 8 октября 2025

Статья подписана в печать: 5 декабря 2025

PACS:

81.15.Aa Theory and models of film growth

English citation: Atomistic modeling of the structure of thin silicon dioxide films using the ReaxFF force field

F. V. Grigoriev, S. S. Torbin, V. G. Zhupanov, P. A. Novikov, V. B. Sulimov, A. V. Tikhonravov

Авторы

Ф. В. Григорьев$^1$, С. С. Торбин$^1$, В. Г. Жупанов$^2$, П. А. Новиков$^2$, В. Б. Сулимов$^1$, А. В. Тихонравов$^1$
$^1$undefined\
$^2$ФГУП "НИИ НПО «ЛУЧ"

Выпуск 6, 2025

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.