Аннотация
Исследованы оптические свойства монокристаллического германия, наноструктурированного ионно-кластерным пучком аргона. Исходные поверхности германия бомбардировались кластерными ионами аргона с низкой удельной энергией (10 эВ/атом). Доза облучения составляла 1.0×10^16, 1.4×10^16 и 4.2×10^16 кластер.ион/см^2. Используя спектральную эллипсометрию, получены дисперсионные кривые и проведено сравнение кристаллического, аморфного и наноструктурированного германия после ионно-кластерной бомбардировки. Продемонстрирована анизотропия эффективных показателей преломления и поглащения наноструктурированных образцов германия вдоль и поперек направления волнового вектора наноструктур.
Поступила: 26 декабря 2025
Статья подписана в печать: 27 апреля 2026
PACS:
78.68.+m Optical properties of surfaces
79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
79.20.Rf Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces
English citation: Study of optical properties of nanostructured germanium after cluster ion bombardment
I. V. Nikolaev, I. A. Azarov, N. G. Korobeishchikov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
И. В. Николаев, И. А. Азаров, Н. Г. Коробейщиков
$^1$Новосибирский государственный университет, НГУ
$^1$Новосибирский государственный университет, НГУ



