Последовательная ионно-пучковая и кластерно-ионная обработка поверхности YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-δ}$

В работе представлены результаты последовательного облучения поверхности сверхпроводящего слоя ВТСП ленты 2го поколения, имеющего состав YBa$_2$Cu$_3$O$_{7-δ}$, атомарными и кластерными ионами аргона. Показано, что двухэтапное облучение мономерами при скользящем падении с углом 85° позволило удалить выступы кристаллитов а-ориентации, значительно снизив значение среднеквадратичной шероховатости. Дальнейшая обработка поверхности кластерными ионами при нормальном падении ионов приводит к сглаживанию рельефа в диапазоне пространственных частот от 0.5 мкм-1 до 10 мкм-1. Стоит отметить, что в рамках данного метода глубина измененного слоя не превышает 10-20 нм, что позволяет говорить об отсутствии внесения структурных нарушений в объём сверхпроводящей пленки.