Annotation
В плазмохимическом реакторе диодного типа с помощью зондового метода исследована эволюция параметров плазмы $C_2F_6$ в процессе травления слоя $SiO_2$ на кремнии. Показана возможность использования зонда Ленгмюра для определения момента окончания процесса травления.
© 2016 Publisher M.V.Lomonosov Moscow State University
Authors
А.Р. Ershov, А.V. Kalinin, Yа.N. Sukhanov, and К.V. Rudenko
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Science News of the Faculty of Physics, Lomonosov Moscow State University
This new information publication, which is intended to convey to the staff, students and graduate students, faculty colleagues and partners of the main achievements of scientists and scientific information on the events in the life of university physicists.