Аннотация
С помощью энергоанализатора заряженных частиц проведено изучение электронного энергетического спектра плазмы емкостного ВЧ-разряда низкого давления в Хе и Не. Проанализированы механизмы формирования электронного энергетического спектра плазмы, включающие приэлектродные электронные пучки. Показано, что аномальный нагрев электронов ксеноновой плазмы обусловлен пучково-плазменной неустойчивостью. Обнаружено резкое уменьшение нагрева электронов плазмы с увеличением ВЧ-напряжения, что связано с проявлением эффекта Рамзауэра.
English citation: Energy distribution of electrons in near-electrode plasma of low-pressure HF capacity discharge
A.F. Aleksandrov, V.P. Savinov, I.F. Singaevskii
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.Ф. Александров, В.П. Савинов, И.Ф. Сингаевский
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2