Аннотация
Описаны результаты экспериментальных исследований, направленных на создание источника ионов твердых веществ. Пары вещества вводятся в атмосферу разряда Способом катодного распыления. Обнаружено существенное влияние местоположения образца на выход ионов из источника. В оптимальном режиме получен ионный ток, в 3 раза превышающий уровень ионного тока из традиционного ионного источника с осцилляцией электронов в магнитном поле.
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Д.Х. Абдрашитова, М.Б. Гусева
Кафедра электроники
Кафедра электроники