Аннотация
В работе приводятся результаты экспериментального исследования пространственного распределения параметров ВЧ-разряда в Не (ρ~О,5 мм рт.ст.)-концентрации и температуры электронов, потенциала стационарного электрического поля,напряженности переменного электрического поля, постоянной составляющей интенсивности интегрального свечения и амплитуды переменной составляющей интенсивности свечения плазмы разряда. Предлагается физический механизм, объясняющий интенсивную исцилляцию свечения на частоте ВЧ-поля в приэлектродных областях.
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
А.А. Кузовников, В.П. Савинов
Кафедра электроники
Кафедра электроники