Статья

Измерение эффективного коэффициента катодного распыления в разряде с осциллирующими электронами в инертных газах

Э.М. Рейхрудель, Г.В. Смирницкая, Л.Р. Курбанова

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1973. № 3. С. 281

Статья

Аннотация

Исследуется распыление катодов в разряде с осциллирующими электронами при низких давлениях в инертных газах. Измерено распределение эффективного коэффициента катодного распыления Nэ по радиусу катодов из Ag, Мо, Та, Ti, Ni, в Ar, Не, Хе. Получена зависимость от параметров разряда. Оценена роль захвата ионов n разных областях катодов.

Авторы

Э.М. Рейхрудель, Г.В. Смирницкая, Л.Р. Курбанова
Кафедра общей физики для естественных факультетов

Выпуск 3, 1973

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.