Показано, что электронное облучение можно использовать для создания сложных диэлектрических и резистивных покрытий на полимерной основе, локализованных в области взаимодействия электронного луча с подложкой. Определены параметры пленкообразования моноокиси кремния и серебра на полимерной подложке при включении электронного облучения и без него. Исследован ряд материалов из класса кремнийуглеродных гетероциклов при введении в них диэлектрического и металлического компонента в структурах металл— диэлектрик— металл.
Кафедра электроника
Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ
Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.