Влияние диффузионной неоднородности распределения избыточных носителей на отражение СВЧ-волны от полупроводникового слоя в волноводе

Проведено теоретическое и ЭВМ-исследование влияния пространственной и динамической неоднородности распределения неравновесной проводимости в полупроводниковой пластине на отклик в цепи СВЧ-смещения. Показано, что пространственная неоднородность распределения приводит к ухудшению эффективности преобразования сигнала из оптического в СВЧ-диапазон, а динамическая — к увеличению инерционности СВЧ-схемы с полупроводниковым образцом. Получено соотношение, позволяющее определить такие толщины полупроводникового образца, при которых неоднородности распределения обоих типов отсутствуют.