Исследование зависимости собственных постоянных электрических полей ВЧ-разряда от его параметров

Проведено экспериментальное исследование постоянных электрических полей, возникающих в стационарном ВЧ-разряде. Изучалась зависимость падения напряжения постоянного электрического поля $V_{\sim}$ от ВЧ-напряжения $V_{\sim}$, давления газа р, частоты ВЧ-поля f, рода газа и материала электрода. Изучался симметричный емкостный ВЧ-разряд в трубке с плоскими внутренними электродами в гелии и неоне при р $\sim$ 10-1300 Па в диапазоне частот 1-12 МГц, т. е. в условиях, когда $f/v\ll 1$, где v - частота столкновений электронов с атомами. Определены методические особенности экспериментальной схемы измерения $V_0$. В исследованных условиях наблюдались значения $V_0\le 1000$ В. Установлено, что величина $V_0$ существенно зависит от интенсивности эмиссионных процессов, определяемых сочетанием "рабочий газ - материал электрода". Вид наблюдавшейся частотной зависимости $V_0(f)$ существенно зависит от амплитуды ВЧ-напряжения $V_{\sim}$ и в исследованном диапазоне частот определяется характером движения ионов в окрестности разрядного электрода.