Миграция ионов по поверхности пиролитической двуокиси кремния во влажной среде

Исследовалась подвижность ионов $\mu$ на поверхности пиролитической пленки $SiO_2$ при повышенных влажностях. Показано, что величина $\mu$ сильно зависит от температуры получения пленки $SiO_2$. Предположено, что основной причиной этого является увеличение микропористости окисной пленки при снижении температуры пиролиза. Сделан вывод, что использование в качестве защитного покрытия пиролитической пленки $SiO_2$ может быть эффективным только при достаточно низкой степени ее микропористости.