Аннотация
Исследована электрическая нестабильность кремниевых МДП-структур в зависимости от количества электронов, инжектированных из кремния в слой $SiO_2$. Инжекция электронов осуществлялась методом лавинного пробоя приповерхностной области кремния.
English citation: Influence of electron injection from Si into $SiO_2$ on the electrical instability of metal- dielectric - semiconductor structures
Yu.N. Kasumov and S.N. Kozlov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Ю.Н. Касумов, С.Н. Козлов
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики для химического факультета. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра общей физики для химического факультета. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2