Аннотация
Приводятся результаты экспериментальных исследований угловых и энергетических распределений вторичных ионов, распыленных из поликристалла алюминия, бомбардируемого ионами аргона. Сделаны выводы о применимости различных моделей распыления и ионной эмиссии.
English citation: Angular and energy distributions of secondary ions sputtered from polycristals
V.M. Bukhanov, K.F. Minnebaev, I.F. Urazgil'din, V.S. Chernysh
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
В.М. Буханов, К.Ф. Миннебаев, И.Ф. Уразгильдин, В.С. Черныш
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2