Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Угловые и энергетические распределения вторичных ионов при распылении поликристаллов

В.М. Буханов, К.Ф. Миннебаев, И.Ф. Уразгильдин, В.С. Черныш

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1990. № 1. С. 28

  • Статья
Аннотация

Приводятся результаты экспериментальных исследований угловых и энергетических распределений вторичных ионов, распыленных из поликристалла алюминия, бомбардируемого ионами аргона. Сделаны выводы о применимости различных моделей распыления и ионной эмиссии.

English citation: Angular and energy distributions of secondary ions sputtered from polycristals
V.M. Bukhanov, K.F. Minnebaev, I.F. Urazgil'din, V.S. Chernysh
Авторы
В.М. Буханов, К.Ф. Миннебаев, И.Ф. Уразгильдин, В.С. Черныш
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Выпуск 1, 1990

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.