Аннотация
Показано, что при проведении зондовых измерений в плазме разряда в He с хорошей точностью параметр стока можно считать не зависящим от энергии и равным $\delta=\delta (kT_e)$. При измерениях в плазме разряда в рамзауэровских газах Ar, Kr, Xe пренебрежение зависимостью параметра стока от энергии приводит к погрешностям $\sim$ 50—70% при определении как средней энергии электронов, так и их концентрации.
English citation: Processing the probe current-voltage characteristics with consideration for the electron drain to the probe
L.M. Volkova, A.M. Devyatov, M.A. Mal'kov, V.S. Nikolaev
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
Л.М. Волкова, А.М. Девятов, М.А. Мальков, В.С. Николаев
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2