Микроструктура многослойных напыленных пленок Та/Аl со сверхрешеткой

Методами рентгеновского анализа и электронной микроскопии установлено, что при напылении многослойных пленок Та/Аl на стекло приповерхностный слой имеет аморфную структуру, а последующие кристаллические слои Та и Аl образуют плоскую аксиальную текстуру. В этих пленках возникает сверхрешетка с периодом 72 А. После отжига при 550°С двухслойная микроструктура трансформируется в четырехслойную.