Эффект Стеблера—Вронского в пленках аморфного гидрированного кремния р-типа

Исследована динамика изменения темновой проводимости после освещения пленок аморфного гидрированного кремния ($\alpha$-Si:Н) с различным уровнем легирования бором. Измерения проводились в интервале температур 270—470 К. Выявлены три процесса, определяющих изменение проводимости. Два из них, приводящие к увеличению проводимости, связаны с поверхностью пленки. Третий процесс имеет объемный характер. Рассмотрены возможные механизмы данных процессов.