Faculty of Physics
M.V.Lomonosov Moscow State University
Menu
Regular Article

Forward sputtering of boron nitride single crystals

V.А. El'tekov and N.N. Negrebetskaya

Moscow University Physics Bulletin 1995. 1995. N 4. P. 72

  • Article
Annotation

С помощью динамической модели блока атомов исследован процесс распыления на прострел графитоподобного нитрида бора ионами аргона с энергией $Е_0= 0,3—4$ кэВ, падающими на грань (0001). Рассчитаны интегральные и дифференциальные характеристики распыления на прострел. Расчет показывает, что преимущественно распыляются атомы азота. Картина угловых распределений эмитированных атомов имеет симметрию третьего порядка. Обсуждаются механизмы распыления на основе различных моделей структуры мишени BN(0001).

Authors
V.А. El'tekov and N.N. Negrebetskaya
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Issue 4, 1995

Moscow University Physics Bulletin

Science News of the Faculty of Physics, Lomonosov Moscow State University

This new information publication, which is intended to convey to the staff, students and graduate students, faculty colleagues and partners of the main achievements of scientists and scientific information on the events in the life of university physicists.