Аннотация
С помощью динамической модели блока атомов исследован процесс распыления на прострел графитоподобного нитрида бора ионами аргона с энергией $Е_0= 0,3—4$ кэВ, падающими на грань (0001). Рассчитаны интегральные и дифференциальные характеристики распыления на прострел. Расчет показывает, что преимущественно распыляются атомы азота. Картина угловых распределений эмитированных атомов имеет симметрию третьего порядка. Обсуждаются механизмы распыления на основе различных моделей структуры мишени BN(0001).
English citation: Forward sputtering of boron nitride single crystals
V.А. El'tekov and N.N. Negrebetskaya
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
В.А. Эльтеков, Н.Н. Негребецкая
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2