Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Краткое сообщение

Энергетическое распределение электронов в приэлектродной плазме емкостного ВЧ-разряда низкого давления

А.Ф. Александров, В.П. Савинов, И.Ф. Сингаевский

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 1998. № 6. С. 52

  • Статья
Аннотация

С помощью энергоанализатора заряженных частиц проведено изучение электронного энергетического спектра плазмы емкостного ВЧ-разряда низкого давления в Хе и Не. Проанализированы механизмы формирования электронного энергетического спектра плазмы, включающие приэлектродные электронные пучки. Показано, что аномальный нагрев электронов ксеноновой плазмы обусловлен пучково-плазменной неустойчивостью. Обнаружено резкое уменьшение нагрева электронов плазмы с увеличением ВЧ-напряжения, что связано с проявлением эффекта Рамзауэра.

English citation: Energy distribution of electrons in near-electrode plasma of low-pressure HF capacity discharge
A.F. Aleksandrov, V.P. Savinov, I.F. Singaevskii
Авторы
А.Ф. Александров, В.П. Савинов, И.Ф. Сингаевский
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Выпуск 6, 1998

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.