Функция распределения ионов по энергиям в положительном столбе газового разряда в чистых газах

Рассчитана функция распределения ионов по энергиям в произвольной точке положительного столба разряда низкого давления при учете перезарядки ионов в случае произвольных соотношений между длиной свободного пробега ионов, радиусом Дебая и размером плазмы. Знание этой функции важно при создании плазменных технологических установок для ионного травления и нанесения тонких пленок.