Физический факультет
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
МЕНЮ
Статья

Функция распределения ионов по энергиям в положительном столбе газового разряда в чистых газах

С.А. Двинин, В.А. Довженко, А.А. Кузовников

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2000. № 1. С. 19

  • Статья
Аннотация

Рассчитана функция распределения ионов по энергиям в произвольной точке положительного столба разряда низкого давления при учете перезарядки ионов в случае произвольных соотношений между длиной свободного пробега ионов, радиусом Дебая и размером плазмы. Знание этой функции важно при создании плазменных технологических установок для ионного травления и нанесения тонких пленок.

English citation: Ion energy distribution function for gas discharge positive column in pure gases
S.A. Dvinin, V.A. Dovzhenko, A.A. Kuzovnikov
Авторы
С.А. Двинин, В.А. Довженко, А.А. Кузовников
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2
Выпуск 1, 2000

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.