Статья

Оценка параметров мишени в РЭМ на основе количественной модели взаимодействия пучка с веществом

С.С. Борисов, Е.А. Грачев, Д.М. Устинин, Е.А. Черемухин, А.И. Чуличков

Вестн. Моск. ун-та. Сер. 3. Физ. Астрон. 2002. № 3. С. 32

Статья

Аннотация

Предложен новый подход к решению задач анализа и интерпретации видеосигналов РЭМ и других микрозондовых приборов, основанный на морфологическом анализе изображений, теории измерительно-вычислительных систем сверхвысокого разрешения и количественной модели взаимодействия электронов пучка с веществом, учитывающей различные каналы взаимодействия. Проиллюстрирована эффективность применения предложенных методов.

English citation: Estimation of specimen parameters in scanning electron microscope on the basis of quantitative model of beam-solid interaction

S.S. Borisov, E.A. Grachev, D.M. Ustinin, E.A. Cheremukhin, A.I. Chulichkov

Авторы

С.С. Борисов, Е.А. Грачев, Д.М. Устинин, Е.А. Черемухин, А.И. Чуличков
Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра компьютерных методов физики. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2

Выпуск 3, 2002

Moscow University Physics Bulletin

Бюллетень «Новости науки» физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.