Аннотация
Получено уравнение плазмы и слоя пространственного заряда, обобщающее уравнение Ленгмюра-Тонкса на двумерно неоднородную плазму. Данное уравнение может быть основой для расчета пространственных характеристик плазмы положительного столба в режиме свободного пробега ионов при произвольной форме границы положительного столба разряда. Приведенные результаты интересны для расчета процессов в ионных источниках и плазменных химических реакторах низкого давления.
English citation: Two-dimensional plasma and space-charge sheath equation for the gas discharge positive column
S.A. Dvinin and А.А. Kuzovnikov
© 2016 Издательство Московского университета
Авторы
С.А. Двинин, А.А. Кузовников
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. Россия, 119991, Москва, Ленинские горы, д. 1, стр. 2.