Влияние высокотемпературного отжига в водороде легированных бором пленок а-Si:H на их оптические свойства

Из спектров пропускания легированных бором пленок a-Si:H вычислены спектральные зависимости коэффициентов преломления и поглощения до и после их высокотемпературного отжига в потоке водорода и определены величины статического коэффициента преломления $n_0$ и оптической ширины запрещенной зоны $E_g$. Получено, что $n_0$ увеличивается от 3.4 до 3.69, а ширина запрещенной зоны $E_g$ уменьшается от 1.82 до 1.52 эВ при увеличении температуры отжига до 650\dC. Эти изменения обусловлены уменьшением содержания водорода в пленках до концентраций, меньших 1 ат.\%, и в пределах точности эксперимента не зависят от концентрации бора в пленках и начальной концентрации водорода.